1、【芯事记】2022年完结超40亿元订单，拓荆科技PECVD工艺品种设备全掩盖

　　1、【芯事记】2022年完结超40亿元订单，拓荆科技PECVD工艺品种设备全掩盖

　　集微网音讯，4月18日，拓荆科技股份有限公司（以下简称“拓荆科技”）发布2022年年度报告，成果创公司前史新高。

　　获益于国内半导体职业杰出的开展态势，国内半导体职业设备需求添加，一起拓荆科技产品竞争力继续增强，出售订单大幅添加，经营收入坚持高添加趋势。2022年，拓荆科技完结经营收入17.06亿元，同比添加125.02%；完结归属于上市公司股东的净利润3.69亿元，同比添加438.09%。

　　曩昔一年，拓荆科技继续拓展以PECVD、ALD、SACVD及HDPCVD为主的薄膜系列产品工艺运用范畴，获得逻辑芯片、存储芯片等范畴现有客户重复订单及新客户订单。

　　PECVD方面，拓荆科技相关产品订单量安稳添加，商场占有率继续攀升，获得现有及新客户的批量订单和批量检验。其间PECVD（NF-300H）类型设备，已完结首台工业化运用，并获得客户复购订单。别的，与PECVD设备成套运用的UV Cure设备完结出售收入。2022年PECVD系列产品完结出售收入15.63亿元，同比添加131.44%。

　　ALD方面，拓荆科技PE-ALD已完结工业化运用，获得了不同客户的订单。2022年该系列产品完结出售收入3258.67万元，同比添加13.85%。

　　SACVD方面，拓荆科技SACVD 产品已在国内集成电路制作产线完结了广泛运用，并获得了现有及新客户订单。2022年该系列产品完结出售收入8947.62万元，同比添加117.39%。

　　到2022年报告期末，拓荆科技在手出售订单金额为46.02亿元（不含Demo订单），2022年签定出售订单金额为43.62亿元（不含Demo订单），新增订单与上年同期相比添加95.36%，为后续成果的添加供给了有力保证。

　　与此一起，集微网依据投标渠道揭露数据收拾计算，2022年，拓荆科技中标上海积塔、华虹半导体、清华大学等企业/单位，合计16台设备，包含供给二氧化硅等离子薄膜堆积设备、化学气相薄膜堆积设备（后段以硅烷作反应物的二氧化硅）、等离子体增强方法化学气相薄膜堆积设备（后段以硅烷作反应物的氮化硅）等。

　　曩昔一年，拓荆科技继续坚持较高水平的研制投入，金额到达3.79亿元，同比添加31.37%，占经营收入份额为22.21%。与此一起，其不断丰富设备产品品类，拓展薄膜工艺运用掩盖面，在现有产品工业化运用、新产品研制、验证等方面均获得了打破性开展。

　　PECVD方面，拓荆科技PECVD设备已根本完结PECVD工艺品种的全面掩盖，广泛运用于国内晶圆厂产线年报告期内，拓荆科技多种不同工艺目标的先进薄膜资料（包含LoKⅠ、ACHM、ADCⅠ、HTN等）和设备均经过客户验证，进入量产产线；一起，开发了能够堆积低温SiN、TEOS 等介质薄膜资料的低温薄膜堆积设备；在PECVD（PF-300T）根底上，推出PECVD（NF-300H）类型设备，并完结首台工业化运用，能够堆积Thick TEOS等介质资料薄膜。

　　SACVD方面，拓荆科技可完结SATEOS、BPSG、SAF薄膜工艺堆积的SACVD设备均经过客户验证，完结了工业化运用。

　　HDPCVD方面，拓荆科技HDPCVD设备能够一起进行薄膜堆积和溅射。其HDPCVD（PF-300T Hesper）设备已经过产线验证。

　　混合键合方面，拓荆科技混合键合系列产品包含晶圆对晶圆键合产品和芯片对晶圆键合外表预处理产品，能够完结直接或依据层间的键合工艺、杂乱的常温共价键合工艺。2022年报告期内，其成功研制了首台晶圆对晶圆键合产品Dione 300，并出货至客户端进行验证；已完结芯片对晶圆键合外表预处理产品Pollux的研制，现在该产品已出货至客户端进行验证。

　　现在，拓荆科技设备在客户端产线出产产品的累计流片量已打破1亿片。2022年报告期内，其设备在客户端产线出产运转安稳性体现优异，均匀机台安稳运转时刻（Uptime）超越90%。

　　此外，拓荆科技募投项目建造开展顺畅。其间，高端半导体设备扩产项目二期洁净厂房已根本完结建造并投入运用；坐落上海临港新片区的ALD设备研制与工业化项目已根本完结建造并投入运用,并按计划开端施行研制和出产作业；坐落临港新片区的半导体先进工艺配备研制与工业化项目已获得土地摘牌，后续将依据计划稳步推进项目建造。

　　集微网报导经过本年屡次降价后，日前，特斯拉上调了美国和我国等首要商场几款车型的价格。

　　特斯拉官网5月2日的数据显现，在我国特斯拉Model 3的起价格上调至23.19万元，Model Y的起价格上调至26.39万元，涨幅均为2000元左右；而在美国Model 3的起价格上调至40240美元，Model Y的起价格上调至47240美元。

　　此外，特斯拉还进步了其在日本和加拿大部分车型的价格。但由于此前在全球多个商场降价以影响需求，特斯拉轿车的价格在提价后仍低于年头。

　　进入4月后，特斯拉在全球范围内再次掀起新一轮降价潮，包含丹麦、新加坡、德国、我国香港、美国等商场已官宣降价，触及车型首要为Model 3和Model Y，但并未包含我国商场。

　　此前，商场传言称特斯拉我国也将迎来新一轮降价，估计Model 3、Model Y降价超4万元，Model 3将直接降至20万元以下。但此次未降反涨，让顾客有些不解，有剖析称特斯拉期望经过提价推进张望人群赶快下单，也不扫除为下一轮大幅度降价制作舆论根底。

　　5月3日上午，天岳先进上海工厂产品交给典礼在上海临港顺畅举办。来自德国、法国、新加坡、台湾地区等国内外客户代表到会典礼并观赏了新工厂。

　　天岳先进的产质量量已在客户集体中构成品牌优势。自开工建造以来，客户对上海工厂的产品交给充溢等待，现在的实践进展超出客户预期。上海工厂进入产品交给阶段无疑将对职业开展注入强壮动力。

　　我国科学院院士、西安电子科技大学教授、博士生导师郝跃、我国自由贸易试验区临港新片区党工委副书记吴晓华等职业专家、政府部门领导莅临公司产品交给典礼。

　　郝跃院士对天岳先进近几年来在技能进步和产能提高方面获得的成果给予了必定和赞扬，他表明：“天岳抓住了一个可贵的前史时机，把握了碳化硅衬底资料的核心技能，一直秉承立异理念，坚持自主研制，具有独特的技能，为我国碳化硅工业链做出了巨大的奉献。在天岳的不断立异、不断提高质量以及全球客户的支撑协助下，天岳一定会获得更大的开展。”

　　吴晓华副书记表明：“上海天岳不仅是临港在集成电路工业资料范畴的龙头，更是临港完结自主可控、全链布局集成电路工业不可或缺的重要组成。”

　　天岳先进上海工厂发动产品交给敞开了公司开展新的篇章。上海工厂选用先进的规划理念，首先打造碳化硅衬底范畴才智工厂，经过AI和数字化技能继续优化工艺，为产能提高打下重要根底。全球新能源轿车、绿色电力和储能等终端商场开展势头迅猛，下流运用范畴对碳化硅衬底资料的需求出现继续旺盛的趋势。天岳先进将依托抢先的技能优势，继续提高产能，满意日益添加的商场需求，坚持寻求杰出的产品质量，一直为客户发明更大的价值。

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